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罗茨海外npv加速试用前级泵的选择
1、抉择前级泵的抽速,要依据罗茨海外npv加速试用的历久事情压力规模斟酌。
例若有一体系罗茨海外npv加速试用机组抽气,请求在1 mbar进口压力时有600升/秒的抽速,并历久事情,问应抉择多大抽速的前级泵。
先假设用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时最大排挤压力为30 mbar。
由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在进口压力低于1.5 mbar如下事情是可行的,但高于1.5 mbar进口压力事情时就选用大一些前级泵了。该例中,事情真空度1 mbar低于1.5 mbar,以是30升/秒的前级泵能够满意上述真空体系的抽气请求。
别的该当斟酌的是,对预抽光阴的请求成绩,如果失常事情光阴远比预抽光阴长,可选较小的前级泵;如果真空室较大,并且请求很快预抽,就要用较大的前级泵,偶然为了更好施展装备的效力,机组装有较大的预抽泵,在失常事情后停掉它,而用较小的前级泵保持,这样做是为了勤俭功率。
2、对罗茨npv加速器免费机组的极限压力的请求,也是抉择前级泵的必需斟酌的。
对极限真空度请求较高(达1X10-3Pa~1X10-2Pa压力)一样平常选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度请求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度请求在133~1333Pa之间可选用往复式npv加速器免费或液环式npv加速器免费作为前级泵。
当选用往复式或液环式粗npv加速器免费作为罗茨npv加速器免费的前级泵时,前级泵的抽速一样平常为罗茨npv加速器免费的1/2-1/4,不克不及太大,不然将使压缩比过大,形成罗茨npv加速器免费的排气温度高而不克不及失常事情。
3、选用前级泵时还必需斟酌被抽气体中能否有腐蚀性介质,能否含有可凝性气体,是大批的照样微量的。
如果含有腐蚀性气体,就不克不及选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大批可凝性蒸汽的气体,不然将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必需采用带有气镇装配的油封机械泵作为前级泵。
为了得到在低进口压力(1~100pa)时的高的抽气速度,可用一台罗茨npv加速器免费作为另一台罗茨海外npv加速试用的前级泵构成的三级或四级机组,此时罗茨海外npv加速试用之间的抽速比一样平常在2~5之间。
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