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干式npv加速器免费如何选择
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由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你最好的选择。
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